● 最快可在5秒內完成一個FOV區域的CT成像
● 大尺寸板狀樣品無需破壞,仍可獲得高分辨率
● 可編程掃描工藝,簡化操作人員的工作量
● 專用自動識別算法,定量統計器件內部的缺陷
X射線源
130KV/160KV
探測器
數字平板探測器
分辨率
5μm~30μm
基板面板
610mm×610mm
基板厚度
0.5mm~7.0mm(PCB)
基板重量
10kg
X射線防護
0.5μSv/h
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