● 最快可在5秒內完成一個FOV區域的CT成像
● 大尺寸板狀樣品無需破壞,仍可獲得高分辨率
● 可編程掃描工藝,簡化操作人員的工作量
● 專用自動識別算法,定量統計器件內部的缺陷
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